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Cr应力缓和层相关论文
电弧离子镀CrSiN薄膜的内应力控制与厚膜化
采用电弧离子镀技术在不锈钢SUS440C基片上沉积了CrSiN薄膜,并在此基础上通过引入Cr应力缓和层制备了CrSiN/Cr多层薄膜,研究了Cr应......
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电弧离子镀
CrSiN薄膜
Cr应力缓和层
内部应力
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