Cz法硅单晶生长相关论文
集成电路和光伏产业的快速发展,对硅单晶的外形尺寸、微缺陷等重要指标提出了更高的要求,同时,对硅单晶生长控制提出了挑战。目前,......
硅单晶作为集成电路和太阳能光伏发电领域的基础材料,其品质对电子器件的性能产生直接影响。磁控CZ法是目前生长硅单晶的主流方法,......