采用热阴极DC-PCVD(Direct Current Plasma Chemical Vapor Deposition)方法制备出大尺寸高质量的金刚石厚膜,研究了金刚石厚膜的......

本文采用热阴极直流等离子体化学气相沉积（DC-PCVD）方法,以CH4+H2+CO2为反应气体,合成出了高品质、生长速率快的金刚石厚膜。研究了C......

金刚石是集多种优异的物理化学性质于一身的超硬多功能材料，纯金刚石是良好的绝缘体，通过掺杂可使其变为宽禁带半导体或耐腐蚀导体，因......