DLC:Si:F薄膜相关硕士博士期刊学术论文

以Ar和CHF3为源气体,结晶SiC陶瓷靶为靶材,通过射频磁控溅射法,在不同的射频输入功率下,在双面抛光的316L不锈钢基底上沉积了系列S......