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Dual-facing-target相关论文

用新型双对靶溅射仪制备的Fe／Ti多层膜的结构特征

在原FTS-Ⅰ型对向靶溅射基础上，设计制作了DFTS－Ⅱ型双对靶溅射仪，它具有低温、高速、成分偏离小和连续均匀溅射的特性，能够同时或交替......

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双对靶溅射仪溅射仪磁性多层膜调制结构 Dual-facing-target Sputter Magnetic multilayered films Me

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