ECRplasmaCVD法相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

ECRplasmaCVD法相关论文

ECR plasma CVD法淀积980 nm大功率半导体激光器端面光学膜技术

介绍了电子回旋共振等离子体化学气相沉积（简称ECRplasmmaCVD）法淀积980nm大功率半导体激光器两端面光学膜的工艺条件，探索了膜系监控......

期刊

nm 淀积半导体激光器介质膜 ECRplasmaCVD法介质光学膜膜技术阈值电流折射率变化工艺条件

看过本文同时还关注