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高掺铒硅基氧化钽脊形光波导
首次提出了采用Er-Ta共溅、高温退火的方法,在硅基二氧化硅表面制备高掺铒氧化钽(Er:Ta_2O_5)薄膜。利用棱镜耦合仪分析了铒掺杂浓......
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