Excimer紫外灯相关论文
报道了利用新型Excimer紫外光源制备钽氧化物薄膜的新方法。在单晶硅衬底上将溶胶-凝胶液旋转涂膜后，通过172nm紫外光源辐照，在低温......
会议
报道了利用新型紫外光源—Ｅｘｃｉｍｅｒ紫外灯辐照制备钽氧化物薄膜的新方法，并对所制备的薄膜进行了Ｘ光光电子能谱（ＸＰＳ）分析，分析结果表明：所制备的钽氧......
