FEA薄膜相关硕士博士期刊学术论文

一些硅的化合物具有良好的场发射特性，如果用作ＦＥＡ发射微尖表面的薄膜，将能较好地提高ＦＥＡ的发射特性，本文对这一类硅化物的制作，测量与性能作......