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用反应溅射法制备了Fe-N薄膜和不同Ta含量的Fe-Ta-N薄膜.研究了这些薄膜的结构和磁性与Ta含量的关系.实验发现,Ta的加入有利于抑制......
应用射频磁控溅射法制备了Fe-Ta-N薄膜，系统地研究了制备工艺对Fe-Ta-N薄膜结构和软磁性能的影响。首先，制备了不同钽含量的薄膜，发现......
