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在p~+GaAs体单晶材料上进行的NEA活化实验
NEA活化实验是利用体单晶材料进行的,未经任何外延或真空解理手续。为确立活化工艺,特别是表面清洁处理规范,作了相应AES分析。借......
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GaAsNEA
活化
表面清洁
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NEA GaAs activation Surface cleaning Surface temperature co
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