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用热灯丝辅助化学汽相沉积法在钼基板上沉积金刚石薄膜的研究
用热灯丝辅助化学汽相沉积(HFACVD)法,以H2+CH4为原料在钼基板上沉积出了金刚石膜。用扫描电镜,X射线衍射,激光Raman光谱和光荧光谱对所......
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金刚石膜
热灯丝化学汽相沉积
拉曼光谱
钼基板
HFACVD
Diamond thin film HFACVD Raman spectrum
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