HKMG相关论文
HKMG技术在CMOS器件中有着广泛的应用,并支撑着45nm、32nm、28nm及以下工艺代的发展;本文重点介绍了HKMG技术的重要技术分支情况,并对......
摘要:本文结合多方视角,详细探讨最新的半导体工艺技术发展,相关产业链各方对新工艺的应用情况及客观评价。 关键词:半导体制造;28nm......
本文从专利文献的角度对金属氧化物半导体场效应晶体管中HKMG技术的发展进行了统计分析,介绍了HKMG技术的专利布局情况,为国内相关行......