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射频磁控溅射制备(In,Co)共掺ZnO薄膜的电学和磁学性质
(In,Co)共掺的ZnO薄膜(ICZO薄膜)在100℃下通过射频(RF)溅射沉积至玻璃基板上.沉积过程采用In、Co、Zn三靶共溅射.通过调节靶功率,......
期刊
稀磁半导体
ICZO
射频磁控溅射
束缚磁极化子
磁学性质
diluted magnetic semiconductors
(In
Co)co-doped Zn
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