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InxAl1-xN系列薄膜相关论文
掺杂InxAl1-xN系列薄膜的磁控溅射法制备及气敏性研究
InxAl1-xN作为第三代的半导体材料,由于其具有禁带宽度在0.76.2 eV的范围内连续可调,临界击穿电压高、抗辐射能力以及化学稳定性好......
学位
Si掺杂
InxAl1-xN系列薄膜
磁控溅射法
气敏性能
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