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LiNbO3/ZnO:Al集成结构的外延生长及电性能研究
采用脉冲激光沉积(PLD)法在蓝宝石衬底上先后外延生长了ZnO:Al(ZAO)和LiNbO3(LN)薄膜。通过X射线衍射分析(XRD)可知二者之间的外延关系为:LN(0......
期刊
脉冲激光沉积
LINBO3
ZNO
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外延薄膜
集成结构
J-E
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pulsed laser deposition (PLD) LiNbO3 ZnO:
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