KOH湿法腐蚀相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

KOH湿法腐蚀相关论文

KOH湿法腐蚀中防金属腐蚀工艺研究

介绍了一种采用PROTEK材料作为保护层,在MEMS器件体硅湿法腐蚀加工工艺中保护金属电极的新工艺。采用这种新的工艺可以在MEMS体硅......

期刊

KOH湿法腐蚀微机电系统 PROTEK材料体硅工艺

基于衍射微光学效应的图像生成及光束整形

基于光波的衍射理论发展起来的现代衍射微光学技术,是微电子与微光学相互交叉、渗透而形成的前沿学科。衍射微光学元件具有体积小......

学位

衍射微光学元件 KOH湿法腐蚀图像仿真图像隐身图像加密光束整形

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