KTMAH腐蚀液相关硕士博士期刊学术论文

为了制备高性能铁电薄膜红外探测器,对Si微桥的湿化学腐蚀工艺进行了研究.利用Si基片各向异性腐蚀特性,在四甲基氢氧化铵(简称TMAH......