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LC-14型强流氧注入机相关论文

LC—14型强流氧注入机注入均匀性的背散射分析报告

报道了应用双指数函数对大注量氧注入硅的背散射谱进行拟合,成功地分离出注入的氧峰.数据处理结果表明,氧注量的均匀性以标准偏差......

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LC-14型强流氧注入机注入均匀性背散射分析 SOI材料 ion implantation SOI material RBS analysis

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