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射频磁控溅射法制备ZnO薄膜及其性能研究
直接宽禁带半导体材料ZnO是第三代半导体材料的典型代表,其薄膜材料在光电、压电、气敏传感器、集成光学、透明导电薄膜等领域具有......
学位
ZnO薄膜
RF磁控溅射
电阻率
带边发射
拉曼光谱
LP缓冲层
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