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Laser-recrystallization相关论文
反射条结构激光再结晶SOI的微结构研究
用平面和横断面电子显微术研究了反射条结构激光再结晶SOI的微结构和微缺陷。实验观察表明,正常工艺条件下,经激光再结晶处理后硅膜可分......
期刊
SOI
激光再结晶
微结构
微缺陷
Silicon-on-Insulator
Laser-recrystallization
Microstructure
Mi
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