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MAM电容相关论文
RF MEMS开关与MAM电容性能测试与分析
RF MEMS开关是最早应用的RF MEMS器件,也是构成其它器件,例如可变电容、滤波器、移相器、振荡器和可重构天线等的基础。因为其在高频......
学位
RF MEMS开关
MAM电容
静电驱动
桥膜硅层
减薄工艺
性能测试
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