静电驱动相关论文
微机电系统（MEMS,Micro-Electro-Mechanical System）是一种在半导体制造技术的基础上发展起来的先进的制造技术,可以在几毫米甚至更......
微流控技术作为一种操控或处理小尺寸流体的技术,能够在消耗少量样品的情况下进行生化分析。微流控技术具有反应速度快、灵敏度高......
传统的刚性机器人由于自身复杂的刚性结构影响了其环境适应性,导致这类机器人的灵活性较差,难以在受限空间或复杂地形中工作。随着......
利用COMOSL多物理场有限元软件, 对无孔、圆形孔、正方形孔、菱形孔四种新型折叠梁形桥面结构Fabry-Perot(F-P)腔可调谐滤波器进行......
残余应力是微机械表面加工过程中不可避免的,残余应力的存在会影响微机械器件的性能。通过引入等效力学模型,推导出残余应力作用下......
阐述了对硅悬臂梁谐振子进行光激励研究的结果。结果表明，谐振子的振幅与激励光斑的位置以及所激励的模态有关。在模态的两节点的中......
研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型微型可编程光栅——周期可调光栅。该光栅采用玻璃体上硅(SOG)加工工艺,静电梳齿驱......
本论文主要对压力传感器的测量结构和软、硬件设计展开研究,在参考前人的经典设计和理论的基础上,参考多种力测量方式,制定了电容......
随着航空航天事业的蓬勃发展,对高精密零部件的需求日益增加,而微细电解加工因其加工精度高、电极无损耗等优势,受到越来越多的关......
石墨烯(GP)作为一种二维材料,具有优异的导热性、高机械强度、高导电性等性能,自问世以来受到科研工作者的广泛关注。近年来随着研......
智能驱动器在受到外部刺激(光、热、电、湿、磁等)时,可做出响应并执行相应操作或命令,在微型机器人、信息交互、远程遥控等领域具......
随着微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)的快速发展,这些技术已经日趋成熟并逐步投入实际应用。现如今,许多MEMS和NEMS器件已经在......
近年来微透镜作为智能设备摄像头起着不可替代的作用,人们越来越热衷于拍照去记录自己那一时刻的人物,事物又或是景物,去记录自己......
学位
在当今的工业加工中,产品的尺寸越来越小,精度也越来越高,这些促使着加工方式朝着精密、稳定的方向发展。微细电火花电解复合加工......
随着微型尺寸产品在各领域的需求增加,微细零部件的加工受到越来越多的关注,微细电解电火花复合加工因无需考虑材料的硬度、强度和......
基于三层多晶硅表面加工工艺和自适应光学经验公式,设计并制作了一种静电驱动的16单元连续面形微机电系统(MEMS)变形镜(DM),并用Zy......
静电平行板驱动器是基于静电驱动的MEMS变形镜的关键部件,其静态及动态性能对MEMS变形镜有重要影响。设计并利用表面硅工艺加工制......
静电驱动凭借其较好的结构稳定性以及灵敏度成为优先选择的谐振器驱动方式，裂纹的存在会导致系统动力学特性的改变，而斜裂纹是机械结......
RF MEMS开关作为MEMS器件的重要组成元素,主要应用于移相器、滤波器、可变电容器、谐振器等射频领域中。目前RF MEMS开关存在驱动......
基于光栅技术的光谱分析在物理、化学、天文、生物、冶金学及其他分析领域起着重要的作用。随着科学技术的发展,对光栅技术提出了......
微机电系统是一种在微电子技术的基础上产生与发展起来的多种学科交叉的研究领域。目前，探讨关于微结构力学特性的研究主要是集中在......
微谐振器件是微机电（MEMS）领域应用最广泛的器件之一，也是研究最多的器件。结构从最初的微梁发展到最近的微盘和微体，谐振频率不断被提......
微作业工具作为实现微操作的关键部件,是连接微观系统与宏观系统的关键环节。随着微操作对象尺寸的逐级减小,尺度效应的影响逐渐显......
无阀微泵作为微机电系统中一类重要的微流体动力源，在众多领域具有非常广阔的应用前景。在微泵研制的过程中，性能预测非常重要，然而传......
静电驱动是微机电系统(MEMS)中最重要的驱动方法之一,应用极为广泛。由于静电力固有的非线性、微尺度下的压模阻尼等非线性因素的......
静电力是微机电系统(MEMS)中一种重要的驱动方式，现在已经广泛应用于微开关、微钳和微镜等微器件中。尽管已有一些静电驱动的MEMS产......
微机械电子系统是人类进入21世纪以来,科学技术的重要的发展方向。微机械谐振器作为微机械电子系统中的核心部件,了解各设计参数对......
射频微机电（RF MEMS）开关以其体积小、重量轻、响应速度快、易与IC电路集成等优点，成为RF MEMS领域中被广泛研究的一类器件。RFMEMS开......
快速发展的光通信技术促使全光通信网络浮出水面,全光网络的发展依赖于光开关技术的进步。过去几年间,各种各样的技术被用于光开关......
随着科技日新月异的发展,对降低器件的功耗,减小器件体积和提高器件集成度的呼声也越来越高。正是在这样的背景下,硅片减薄技术发......
在微机电系统(MEMS)装置设计方面，一种很重要的方法被称为静电驱动。它是在一个电控可调电容器上进行研究，使用两个基本物理原理：静电......
RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件,静电驱动RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成......
针对高分辨率微米光栅加速度计中存在的输出非线性和动态范围小的问题,提出一种基于静电驱动的静电力反馈方法。该方法一方面将质......
在电容检测中 ,交流电压驱动常常是测量电容变化的必要手段 .驱动电压引起作用于可动电极上的静电力 ,从而影响到可动电极的运动 .......
利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构......
为了减小正交误差对硅MEMS陀螺仪性能的影响,进一步提高陀螺精度和工程化成品率,对MEMS陀螺正交耦合的影响因素进行了研究。通过ME......
给出基于硅的微机械光开关的设计分析。优化设计了光开关结构 ,提出了一种降低扭臂式结构光开关驱动电压的方法。并根据不同结构 ,......
静电驱动的微机械装置是许多微机电系统(MEMS)中的重要模块。根据微光机电系统(MOEMS)可编程相位光栅的设计思想,提出一种静电驱动......
将最小能量法与均匀压力载荷下圆薄膜大变形半解析解相结合,分析了静电驱动柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压升性能的影响.微型阀容......
研制了一种基于自组装技术的静电驱动微机电系统(MEMS)倾斜镜,并利用表面硅工艺PolyMUMPs制备了样品.倾斜镜主要由一个中心镜面,两......
在静电驱动电容式微机械陀螺传感器结构的基础上,对寄生Coriolis力进行受力分析,建立了寄生Coriolis力的等效电学模型。比较分析了......
期刊
设计了一种应用于激光雷达的二维静电驱动谐振式微机电系统(MEMS)扫描微镜。基于MEMS技术对微镜加工工艺进行设计,简化了电隔离槽......
为了研究静电致动圆板静态和动态特性，在模态分析法的基础上，利用多维非线性函数的Levenberg-Marquardt拟合方法，将板的动能、弹性能......
提出了一种采用新型纳米梁结构利用静电驱动实现混频的NEMS混频器的工作原理。通过在两个双端固支梁中间加一平板质量块作为静电驱......
介绍了一种实用的平板电容式MEM SRF 射频开关.研究了外加驱动电压与由此所引起的极板间距和极板受力变化之间的非线性关系,提出了......
利用最小能量法和均匀压力载荷下的圆薄膜大变形半解析解相结合的方法,改进了静电驱动柔性振膜微泵的理论分析模型。计算结果表明：......
