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阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用.脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工......
以微机电系统(MEMS)微细加工技术为研究基础,对锆钛酸铅(PZT)压电陶瓷材料的加工方法及其压电性能展开研究。重点研究了准分子激光......
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