MEMS标准工艺相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

MEMS标准工艺相关论文

MEMS工艺优化及其应用

MEMS是微机电系统的简称,是多种学科交叉融合的前沿高技术,是未来的主导产业之一,将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式......

学位

MEMS标准工艺微细加工技术设计规则深硅ICP刻蚀聚酰亚胺牺牲层应力及应力梯度控制

硅基MEMS加工技术及其标准工艺研究

本文论述了硅基MEMS标准工艺 ,其中包括三套体硅标准工艺和一套表面牺牲层标准工艺 .深入地研究了体硅工艺和表面牺牲层工艺中的关......

期刊

MEMS标准工艺高深宽比刻蚀键合多晶硅应力防粘附

看过本文同时还关注