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MEMS热电堆芯片相关论文
MEMS热电堆自动固晶系统关键技术研究
基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)工艺的热电堆芯片以尺寸微小、灵敏度高、非接触测温等优点得到了广泛应用,巨大的市场......
学位
MEMS热电堆芯片
固晶系统
视觉定位
工艺优化
质量检测
MEMS热电堆芯片固晶工艺参数的优化
MEMS热电堆传感器能够实现对温度的精确测量,固晶工艺是其中关键一环,但目前尚缺乏有效方法精确优化MEMS热电堆固晶工艺参数。本文......
期刊
MEMS热电堆芯片
温度检测
压力参数
点胶高度
贴片高度
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