MEMS电感相关论文
目前关于植入式系统的应用研究非常活跃。对于一个植入式系统而言，电源是设计中所要着重考虑的。由于使用寿命的问题，电池在植入式系......
开发了单晶硅上的选择性无电镀铜、镀镍工艺，形成了较为优化的施镀流程，实现了保形性、均镀性较好的铜、镍及其复合镀层．其中针对单晶......
报道了一种由悬浮在玻璃衬底上的表面镀铜平面单晶硅螺线构成的新型MEMS电感，可消除衬底损耗及减小电阻损耗．采用一种硅玻璃键合-深......
