MEMS高g加速度传感器相关论文
由于MEMS高g加速度传感器固有频率低，导致测试过程中出现谐振现象。本文分析了传感器的特殊结构参数对固有频率影响，提出了一种优化......
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设计的MEMS高g加速度传感器抗高过载能力差,将导致在冲击等恶劣环境中应用时结构易破坏。通过分析传感器结构对其抗过载能力的影响......
封装热应力是导致MEMS器件失效的主要原因之一,本文设计了一种MEMS高g加速度传感器,并仿真研究了传感器在封装过程中的热应力及影......
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