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设计水平和垂直方向两种驱动形式MEMS（micro-electro-mechanical system）惯性开关，应用ANSYSIO．0有限元软件对其中的镍质微弹簧结构进......

在综合分析国内外含能薄膜相关文献的基础上,认为金属复合含能薄膜桥、含能半导体桥及纳米多孔硅/氧化剂复合薄膜制作工艺与微机电......