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MEMS—IDT相关论文

MEMS—IDT声表面波陀螺

声表面波陀螺的概念出现在70年代初期,发展为MEMS-IDT声表面波陀螺仅是最近几年的事情.MEMS-IDT声表面波陀螺仪是一种MEMS微机械振......

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声表面波陀螺声表面波叉指换能器驻波振动 MEMS—IDT 微机械振动陀螺 MEMS SAW IDT gyro standing-wawevibratio

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