MEMS压阻式压力传感器相关论文
为了研制高精度MEMS压阻式压力传感器,基于信噪比对其压敏结构进行了设计与分析.首先运用ANSYS有限元模拟仿真获得了不同压敏电阻......
期刊
随着科学技术的发展，传感器技术在国民经济各部门中的作用和地位日益突出。MEMS传感器中，压阻式压力传感器发展最为成熟、最早实现商......
学位
近些年来,MEMS压阻式压力传感器的需求量与日俱增,对其性能要求也越来越高。市面上传统压阻式压力传感器通常无法兼具高灵敏度和高......
学位
为兼顾高灵敏度与低非线性误差,针对性地设计和研究了一种量程为105 kPa的新型MEMS硅压阻式压力传感器,该传感器通过部分刻蚀SOI硅......
