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MEMS可编程光栅相关论文
MEMS可编程光栅动态驱动电路的研制
MEMS可编程光栅的工作性能很大程度依赖于驱动电路的性能。本文根据MEMS可编程光栅的工作特点及结构参数,提取出光栅的等效电容值,......
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MEMS可编程光栅
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