硅基MEMS振荡器的频率温度系数高达-30 ppm/℃,是石英晶体振荡器的100倍以上,因此必须进行频率温度补偿。静电反馈是一种低功耗补......

美国芯科实验室（Silicon Labs公司）生产的Si50x系列振荡器,采用专利的CMEMS技术将CMOS振荡器和MEMS谐振器集成到单晶片上,保证10年以......