MEMS设计方法学相关硕士博士期刊学术论文

将MEMS悬臂梁在静电驱动下的受力过程映射为悬臂梁自由端（即其纵向最大位移点）的力学描述，从而实现对悬臂梁的直流稳态分析。其基本原......