MFIS栅结构相关硕士博士期刊学术论文

铁电薄膜是铁电存储器的存储介质,高性能的铁电存储器要求铁电薄膜具有较大剩余极化、薄的膜厚、低漏电流、抗辐射性能强等优点。......