MPCVD微波等离子体相关硕士博士期刊学术论文

纳米金刚石(NCD)在精密机械、光学真空窗口等领域具有广泛的应用。利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)以乙醇、氩气和氢气为气......