提出一种用于单电子自旋探测微悬臂梁的制作方法。采用顶层Si厚度为1μm的SOI硅片,在器件层刻蚀出悬臂梁图形后,利用热氧化将Si梁......

微悬臂梁作为微机电系统(Microelectromechanical system, MEMS)中常用的微传感器,被广泛应用于力检测、质量检测、加速度检测、气......

传统的高校校园开放空间设计主要考虑形式构图或风格化,未考虑开放空间的微气候对师生的影响。为了改善校园开放空间冬季微气候,选......