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MgZnO靶材相关论文
MgZnO靶材的制备与性能研究
MgxZn1-xO薄膜能在较宽的光学带隙范围内可调(3.37.8e V),用作MgZnO-TFT有源层时,MgZnO薄膜的禁带宽度大于Zn O的禁带宽度,能促进TFT......
学位
MgZnO靶材
球磨
烧结
磁控溅射
薄膜
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