Micro-GC 相关硕士博士期刊学术论文

利用微细加工与MENS技术制造了一款微型气相色谱柱,在Pyrex型硼硅玻璃表面刻蚀出400μm的沟道,沟道总长度为5.8 m,均匀的以S形分布......