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MoS膜相关论文
薄膜沉积过程的机理、模拟、实验研究
该文通过探讨改变基体表面几何形貌对膜的形核的影响,提出了基体表面形貌的理论几何模型,基于基体表面能,建立稳定原子簇团生长的......
学位
蒙特卡罗
沉积粒子
薄膜生长率
原子簇团
MoS膜
TiN膜
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