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NIM-IC型半导体硅单晶电阻率标准样片与NBS的SRM型标准样片的比较实验
通过对中国计量科学研究院(NIM)与美国国家标准局(NBS)研制的硅单晶电阻率标准样片的比较实验研究,获得了标志着标准样片主要性能......
期刊
中国计量科学研究院
主要技术指标
NIM-IC
径向电阻率
分布曲线
径向扫描
硅单晶
NBS
比较实验
SRM
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