Ni-Mn-Ga-Co薄膜相关硕士博士期刊学术论文

采用磁控溅射技术在P型Si（100）基片上制备了掺杂Co的Ni-Mn-Ga薄膜,对制得的薄膜进行不同温度的热处理,并分析研究各种薄膜的表面形貌......