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基于光诱导介电泳的微粒自动化操作实验研究
采用等离子体增强化学气相沉积方法(PECVD)制备了氢化非晶硅(a-Si∶H)光电导薄膜,并利用双面胶技术封装ODEP芯片。构建了包括光投......
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光诱导介电泳
氢化非晶硅
光电导薄膜
自动化操作
ODEP芯片
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