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CIGS薄膜(InGa)2Se3-富Cu-富In(Ga)的演变
采用三步共蒸发工艺顺序沉积铜铟镓硒(CuInGaSe2,CIGS)薄膜。薄膜的厚度、组份、晶相结构分别由台阶仪、X射线荧光光谱仪(XRF)和X......
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Ga)2Se3预制层
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富In(Ga)
三步共蒸发
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