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P(L)ZT铁电薄膜裂纹特性分析
对铁电薄膜热处理过程中产生的裂纹的特性进行了分析。通过实验,研究了裂纹与铁电薄膜微细图形的尺寸、图形形状,以及衬底材料的关系......
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