PZT薄膜相关论文
采用化学溶液沉积法在硅(100)衬底上制备了以BiTiO为隔离层的PZT铁电薄膜,研究测量了退火温度、时间对薄膜的晶体结构和表面形貌的......
用溶胶-凝胶的方法制得(111)取向的PZT铁电薄膜,并喷涂于Pt(111)Ti/SiO/Si衬底上.用扫描力显微镜(SFM)的压电响应模式纳米级分辨率......
采用溶胶-凝胶方法在Pt/Ti/SiO/Si的衬底上通过悬涂法制备了PZT(Zr/Ti=53/47)薄膜.用XRD、AFM和椭圆偏振仪研究了薄膜结构、表面形......
采用脉冲激光溅射方法将PZT/YBCO沉积在LaAlO(LAO)基底上,所选择的烧结靶材分别是不掺杂的Pb(ZrTi)O和掺有2﹪BiO的Pb(ZrTi)O.沉积这......
将奈米尺度的PZT微粉(~40nm)加入Pb-Zr-Ti的羧酸盐中可促使PZT薄膜由非晶质态转变成钙钛矿结构的反应动力性大大提高,同时使PZT膜......
铁电薄膜具有受外加电场调控的可翻转的剩余极化，极化电荷在膜表面聚集而形成退极化场，可以促进光生载流子分离，从而提高铁电半导体的......
在SiO2/Si衬底上采用直流磁控溅射沉积复合金属薄膜Pt/Ti作为电极,薄膜电导率高,结构致密且表面无空洞等缺陷;在Pt/Ti/SiO2/Si结构......
典型的压电材料Pb(Zr0.52Ti0.48)O3因其优异的性能,可用来制备各种类型的压电器件,一直受到许多研究者的关注。采用PLD法在SrTiO3(......
As rapid development in wearable/implantable electronic devices benefit human life in daily health monitoring and diseas......
采用溶胶－凝胶方法制备了ＰＺＴ（５０／５０）薄膜。用椭偏仪和透射光谱分别测量并计算了制备在Ｓｉ（１１１）、石英玻璃基片上薄膜的折射率。研究了薄膜的相结构与折......
PZT是最重要的压电和铁电材料，在传感、驱动、信息存储和能量采集等方面有重要的应用.PZT的性能与其畴结构和畴翻转的动力学特......
随着微机电系统(ME MS)产业的快速发展,铁电薄膜材料作为微机电器件的重要组成部分而愈受重视.锆钛酸铅(PZT)薄膜具有优越的压电性......
锆钛酸铅(PZT,Pb(ZrxTi1-x)O3)是信息功能陶瓷材料领域里重要的一类铁电压电材料,具有优异的压电性能和工艺稳定性。PZT薄膜能够实......
锆钛酸铅(PbZr0.52Ti0.48O3,简称为PZT)以其优良的介电性能、铁电性能、压电性能以及与半导体工艺良好的兼容性获得了人们的广泛重......
采用常温射频（RF）溅射法和快速热处理相结合的技术，在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上，制备出具有铁电性的PZT薄膜。研究了快速热处理工艺条件对PZT薄......
近年来,PZT铁电薄膜因其良好的电、光、热电和超声等方面性能引起了研究工作者的广泛关注.大量研究表明,膜中钙钛矿相含量越多,铁......
比较了ＳｏｌＧｅｌ工艺制备ＰＺＴ薄膜的两种热处理过程成膜情况和对ＰＺＴ／Ｓｉ结构的影响，其中，低温烘烤、快速升温、高温退火的热处理方式有利于钙钛矿相成相......
综述了Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法制备ＰＺＴ系列铁电薄膜各种因素对薄膜微结构及性能的影响，分析了铁电薄膜极化疲劳微观机制，提出了优化的工艺条件及极化疲劳改善......
用不同升温速率控制ＰＺＴ薄膜晶化过程，实验结果表明，当晶化温度在４００～６００℃时，薄膜显焦绿石相，当采用较高升温速率５０℃／ｍｉｎ时，在硅片上可缩小焦绿石相生成......
研究 Sol- gel制备 PZT薄膜材料相结构与晶格参数 ,研究 PZT薄膜相变、衬底与温度关系和不同 Zr/ Ti比Pb(Zrx Ti1-x) O3 (x=0 .2～ 0......
采用化学溶液沉积法在硅(100)衬底上制备了以BiTiO为隔离层的PZT铁电薄膜,研究测量了退火温度、时间对薄膜的晶体结构和表面形貌的......
钙钛矿结构的材料因其具有压电性、铁电性、热释电性等物理特性而被广泛应用于各个领域。开展有关钙钛矿结构材料的微纳结构可控制......
自进入21世纪以来,随着微纳米加工技术的发展,微型器件大量涌现出来。随着各界学者研究的深入,利用压电材料进行能量采集的技术得......
近年来,铁电材料由于具有良好的压电、铁电和热释电性能,因此受到了广泛的关注。其中,锆钛酸铅[ Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3, PZT) ]作为......
微超声电机(Micro Ultrasonic Motor)是一种利用MEMS(Micro-ElectroMechanical Systems)技术设计制作的新型电机,具有体积小、响应......
脉冲激光溅射镀膜(PLD)技术具有许多独特的优点,在世界范围内已越来越受到广泛的注目,但有关其机理和应用研究在许多方面刚刚开展,......
采用溶胶-凝胶技术和快速热退火(RTA)工艺在Pt/Ti/SiO/Si衬底上制备出不同择优取向的掺铕Pb(ZrTi)O铁电薄膜(记为Eu-PZT).系统研究......
铁电薄膜的制备、结构、电性能及其应用已成为国际上新材料研究的一个十分活跃的领域.铁电薄膜器件需要开发具有多元耦合效应的材......
PZT薄膜因其优异的介电、铁电和压电性能,成为制备MEMS传感器和驱动器的重要材料.以金属(特别是贱金属)作为PZT薄膜的基片,不仅降......
铁电材料、铁磁材料以及电磁复合材料都是十分重要的功能材料,在航空航天、人工智能、微机电系统、智能传感器等领域得到了广泛的......
近年来,铁电薄膜材料的制备、结构、性能和应用已经成为国际上新型材料研究的一个热点。由于铁电薄膜材料具有良好的压电、热释电......
随着器件微型化、功能化、集成化的发展,单一组成的介电、铁电材料已无法满足现代生产生活需求,可以将具有不同性能的介电和铁电薄......
随着铁电薄膜和微电子技术相结合而发展起来的集成铁电学的出现，铁电薄膜材料的制备、结构、性能及其应用已经成为国际上新型材料研......
水热法沉积PZT薄膜具有反应温度低,薄膜纯度高、厚度大,不需要后处理等一系列优点。本论文采用水热合成法制备了Ni/PZT磁电复合薄......
铁电存储器是一种以铁电薄膜作为存储材料的存储器件。铁电薄膜可以被外加电场极化,即使外加电场被除去,极化依然得以保持。在所有......
锆钛酸铅(Pb(Zr x Ti1-x)O3,0<x<1)是传统的铁电材料之一。由于其独特的铁电、热电以及压电等性能,基于铁电薄膜的器件一直受到人......
PZT薄膜因其优良的介电、铁电、热释电等性能,广泛的应用于微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域,是作为铁电存储......
采用溶胶-凝胶技术在Pt/Ti/SiO/Si衬底上制备出稀土镱(Yb)掺杂的Pb(ZrTi)O(Yb-PZT)铁电薄膜.系统的研究了不同预烧温度和烧结温度......
随着计算机技术的不断发展,已有一百多年历史的椭偏术的研究重点已从该技术本身转移到了它在材料分析中的新用途.该论文介绍了椭偏......
Pb(ZrxTil-x)O3(PZT)薄膜是一种钙钛矿型材料，其所具有的优越的压电性和热释电性已被广泛应用到射频声波滤波器、微电子机械系统和......
本论文主要包括两部分内容。第一部分，采用磁控溅射法（Magnetron Sputtering）法在SrTiO3（100）基片上制备了不同沉积温度的La0.5Sr0.5CoO......
PbZrxTi1-xO3 (PZT)铁电薄膜因具有一系列优异的铁电、压电、热释电、以及介电性能和显著的电光、声光及非线性光学效应,被广泛用......
在过去的20年里,人们对Pb(Zr,Ti)O_3 (PZT)薄膜的铁电和压电性质做了广泛的研究。最近,人们发现PZT薄膜在光学传感和无线驱动等方......
采用改进的溶胶 -凝胶技术 ,在Pt/Ti/TiO2 /SiO2 /Si( 1 0 0 )基片上制备了压电PZT薄膜 ,用XRD和AFM技术分析了不同热处理工艺条件......
