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P型高阻相关论文
无夹层P型高阻硅外延材料制备研究
P型高阻硅外延片作为制备光电器件的关键支撑材料,对电阻率提出极高要求,单在生长过程中极易出现夹层而影响后续器件性能。本文通......
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CCD成像器件用P型外延材料的工艺研究
CCD成像器件作为大面阵高集成度器件,对外延材料的均匀性,特别是P型材料的电阻率均匀性,提出更高要求。本文主要介绍了CCD成像器件......
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