论文部分内容阅读
P型高阻硅外延片作为制备光电器件的关键支撑材料,对电阻率提出极高要求,单在生长过程中极易出现夹层而影响后续器件性能。本文通过对外延过程中的杂质浓度变化趋势研究,通过分阶段主动控制P型补偿杂质,成功制备了电阻率大于1500cm的P型高阻外延,并避免了高阻夹层的出现。
无夹层P型高阻硅外延材料制备研究
【摘 要】
：
P型高阻硅外延片作为制备光电器件的关键支撑材料,对电阻率提出极高要求,单在生长过程中极易出现夹层而影响后续器件性能。本文通过对外延过程中的杂质浓度变化趋势研究,通过
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
：
科技视界
【发表日期】
：
2018年14期
其他文献
概览七十余年来有关《边城》研究的论文、论述,其主要兴奋的视阈可归纳为牧歌—乡情说、悲剧说、象征说与文化—历史批评等三种类型。研究者认为,一部《边城》,牧歌—乡情是
目的探讨左西孟旦联合缬沙坦治疗老年重症心力衰竭的临床疗效及其安全性。方法选取2014年6月—2016年12月我院收治的老年重症心力衰竭病人148例,按随机数字表法分为对照组和
从总体性治理到综合治理是建国后中国国家治理方式演进的基本脉络,也是转型中国国家——社会关系变革的主要内容。从一定意义上讲,社会治安综合治理是透视转型中国社会成长与
本文以高新技术产业投资环境作为研究内容,以广东省作为实证研究的区域载体,首先阐述了高新技术产业与投资环境的基本概念和特征,界定了高新技术产业投资环境的概念,并指出高
<正>德育是素质教育的重要组成部分。在体育教学中渗透德育尤为重要,它是提升学生道德水平的重要环节。小学体育教师不仅要塑造学生的形体美,而且要塑造学生的灵魂美,促使学
目的:采用左氧氟沙星联合替硝唑的方法治疗盆腔炎,并分析其临床效果。方法:将2013年9月~2014年9月在本院接受治疗的盆腔炎患者84例按照掷骰子的方法分成治疗组与对照组,平均
为探寻煤泥水聚团沉降新技术,以季铵盐类药剂为表面活性剂开展了高泥化煤泥水疏水聚团沉降试验研究,考察了药剂用量、动能输入、p H值等因素对高泥化煤泥水疏水聚团沉降的影
卢梭对现代性的批判理论在西方哲学史上具有非凡的意义。一方面,在18世纪的欧洲,现代性的觉醒带来了物质空前繁荣的同时,从古代世界到现代世界的巨大转变也在不断提醒人们新
运用灰色聚类分析对水库富营养状况进行评估,旨在建立一种完善、合理的富营养化评价模型,为水库的管理提供依据。选用透明度(SD)、溶解氧(DO)、化学需氧量(COD)、总磷(TP)、
众所周知，顾客在消费活动中最容易做出的一种选择，就是在消费能力可以承受的前提下，在众多的商品中选择名牌产品。$$这是为什么？根本的原因就是顾客在消费活动中的核心诉求是追求
报纸