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采用金属有机物TPT[(C3H7O)4Ti]及TET[(C2H5O)4Ti]作为供钛源,对几种塑料成型模具钢材料进行PAMOCVD处理。由于表层形成一层TiN,Ti2N,TiC等化合物层,故提高了塑料模具钢的抗腐蚀性及耐磨......
GaN作为第三代半导体材料,因其优良的特性,日益成为研究的热点,在微电子和光电子领域具有十分广阔的应用优势和发展前景.该论文采......
采用金属有机物TPT「(C3H7O)4Ti」及TET「(C2H5O)4Ti)」作为供钛源,对几种塑料成型模具钢材料进行PAMOCVD处理。由于表层形成一层TiN,Ti2N,TiC等化合物层,故提高了塑料模具钢的抗氧性......
用传统的TiCl4-H2-N2进行了PCVDTiN处理,存在炉体和真空系统腐蚀及氯元素进入涂层等问题,作者采用金属有机物TPT(C3H7O)4Ti)或TET(C2H5O)4Ti)代替TiCl4作为供钛源进行PAMOCVD处理,研究了不同工艺参......
表面强化技术是一种提高模具表面硬度,延长使用寿命的有效方法,其中PCVD法具有工艺温度低,均镀性好,镀层结合力强等优点.PAMOCVD在......