<正> 一、发展概况 1974年莫托洛拉公司引进LPCVD用于半导体工业,尔后又引进了LTO系统及等离子增强CVD技术,CVD技术得到了惊人的发......

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为了提高刀具的切削性能,比较有效的一种方法是采用各种涂层技术在刀具基体上涂覆上一层或者多层高硬度、高耐磨损性能的材料,可以......

本文系统描述了用ＰＣＶＤ（光化学汽相淀积）技术在ＩｎＳｂ衬底上沉积ＳｉＯｘＮｙ介质膜的工艺过程。对ＳｉＯｘＮｙ膜进行测试分析，并用它作介质膜，钝化膜，作出了性能较好的ＩｎＳｂ ＣＩＤ焦......

采用金属有机物四异丙基钛为钛源，在辅助加热ＰＣＶＤ设备上进行沉积Ｔｉ（ＣＮ）涂层研究。并对涂层进行了显微硬度测量、扫描电镜观察和Ｘ射线衍射分析。......